半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体材料高档公测生活配套涉重污水——MVR强迫嵌套循环零排顶目
工程时代背景
半导舒适首测新工程,的规模150立米米/天,是首只半导首测匹配涉重废液零排新工程。首测部分的镀镍、镀铜、引线三层架构擦洗会有含镍含铜废液,经济区追求"无尾水外排",产水全部的回收利用于产线。
水体特性与薄弱点
废污水以含镍相结合(渗透压10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH变化大(2–12),另外 光刻胶残存的几瓶生产物。首测厂场景紧,规定正确处理公用设施土地征用小;零排含意着浓水没有土石方越多,必须要本市蒸发掉结晶体反馈控制。
正确处理工学艺行车路线
纵向走"分质持续 → 预解决除杂 → 普通机械水解除镍 → 脱水 → UF+多级RO → MVR强制性循环往复蒸发器 → 冷凝水水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,添加氢氧化反应的钠转为Ni(OH)₂沉淀出的,加上混炼钠厚度气体吸附残余物镍(混炼镍Ksp比氢氧化反应的镍更小,能够镍压到0.1毫克/升低于);
奠定出液经多物质净化器+联防队员净化器后进UF,再进一级通过成绩RO,产水可以直接回产线难以清理;
RO浓水(含盐+残渣巨资属)进MVR強制重复空调冷凝器器,強制重复能扛高含盐积垢,空调冷凝器器再带上线清晰,更易堵;
MVR气液分离器水变回使用水盆,挥发残液委外填埋或是 危险废物应急处置,整一个加工区无液态氨外排。
关键的机器设备缺点说
MVR立即间歇相比较平凡降膜挥发,间歇水流量高、传热系数面不要结镍盐/碳酸盐垢,适当测封这款"供水量很小但水污染杂"的不一样;合一化撬装装修设计占地赔偿比传统化挥发塘+多效挥发计划方案小60%上面的;臭味侧配合怪物滤池,把调池和污水间的臭味征集后化学降解成CO₂和水,尽量不要测封厂紧挨商务办公室的其它异常的味道网络投诉。
加工处理成效与效率
出水量镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,强于《真空镀膜的的排卸物的排卸标》表三;都150立米米/天产水工业废水处理于公测产线清洁,取代等量新的水;垃圾(蒸发掉残液+生活污水)量比传统性"奠定+的排卸"的模式减约70%。对富士康侧,公测建设项目干净许可卡点打架通;