重庆某光电器件IC芯片生产精加工厂，晶圆精加工时候中产生了含硅、氟的比较特殊污工业废水 ，构思清理的规模1200吨/日。污工业废水 营养成分多样化，包含有微米级硅粒状及氢氧化钠，以往清理形式不易达到标准。 生活污水基本成分及源于 注意废弃物物 ：胶体溶液硅（100-500nm颗粒直径）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 收入加工过程 ：晶圆刻蚀工业废水处理工艺（45%）、CMP生物学机制打蜡 工业废水处理工艺（40%）、机 喷洗水（15%） 净化处理方法方案 信息化采用了"化学物质积淀+特种作业膜离心分离"技术水平规划： 钙盐乳浊液 ：污泥脱水氯化钙取除氟亚铁离子（提取CaF2沉淀物） 斜管沉淀池的反应 ：复合材料斜板沉淀池剂推动悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔直径膜挤占微细颗料 反渗透设备法系统软件 ：脱盐率>98%，回收公司率75% 多效蒸发成果 ：浓水段实现目标氟化物零的排放 既定功能 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（超过政府考试内容一级规格10mg/L） 硅的含量：<5mg/L 饮水机共享使用率：70%适用于降温塔补湿 危废处理减轻：蒸发掉残留物量较普通加工过程才能减少60%