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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为84英寸晶圆加工线配套设施的超蒸馏水系统,每一刻形成含硅废液150吨。废液中虽无血本属,但硅含氧量高易水垢,且电阻器率需满意18MΩ·cm就可以实业废水加工。固有鑫霖环保设备没办法满意新颁发的《网上实业水影响物排污量规则》(GB39731-2020)特点排污量限制值。 废渣组成成分特质 最主要弄脏物 :溶液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(粒度0.1-1μm) 特殊的要 :TOC<10μg/L,硼成分<5μg/L 水质标准基本特征 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅单质性状繁多 办理加工方案 创新性用于"梯级膜离心分离+电去化合物"女子组合鑫霖环保: 微滤预正确处理 :1μm瓷质膜拦阻大粒子硅,通量持续80LMH 铁离子对调树脂材料 :D201大孔聚酯树脂选性过滤硅酸原子 两级RO设计 :一段回收分类处理率60%,第十二段采取高脱硼膜元器件封装 EDI电去阴离子 :直流电溶解度2A/m²,继续我们要除残余物铁离子 太阳光的紫外线除菌 :254nm紫外光线的用药量40mJ/cm² 高技术难点 开发建设专用型阻硅剂(有机质胺类符合物),推迟膜废弃物周期长3倍 EDI控制模块特色化流道设定,硅清理率不断提升至99.8% 网上硅介绍仪(在测量比率0.1-500μg/L)变现会员精准营销保持 作业认真总结 经协议协议书方测量: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼分量从8μg/L降低0.3μg/L 程序出售率从原40%提升自己至68% 膜换新周期时间延时至5年,年程序运行价格拉低35%

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