某半导体技术厂在生孩子工作中采用盐酸系定影液,生产高浓硫酸浓度含NOx废渣,日治理量50吨。废渣中含NO2-高至2000mg/L,且带有少量无机光刻胶因素,治理一定的难度较高。
2. 生产废水含量及来源于
显影液生产工艺电镀废水(核心废弃物源)
晶圆的清洗废水处理工艺
气体洗洁塔排污
3. 进行处理加工具体步骤
主要包括"初中级脱色+有级生物技术净化处理"革新生产工艺:
O3氧化反应
:完成三氧时有呈现器呈现O3,将难化解有机会物化解为小团伙元素,另外将NO2-空气氧化为NO3-。
生物体膜响应器(MBR)
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首位级:缺氧攻略室内环境下加药甲醇为碳源,提高反水解酸化不良反应
其次级:好氧菌物膜进一大步生物降解有机酸物
电生物长度工作
:按照钛基涂覆电极片,凭借电解抛光影响恢复原状转化残存空气工业废气。
4. 最中体验
NOx总氮低于8mg/L下例
COD稳定性在30mg/L球以内
废液回收利用率达60%
系統运转耗电量管理在3.5kWh/吨水,较传统艺术工艺流程节能技术20%。