半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
品牌底色
该行业为全.球当先的光电器件公测行业,座落珠角形地域,一般去品质集成电路芯片的划区和装封测验。主要是因为本地的环保规范严格执行,行业打算制定一个废液无废气排放标准工程工程项目。工程项目于2030年再启动,202三年6月开工建设动工,正确处理大规模为200吨/日,总股权投资约2000千元。
化工废水材料及原因
该类意义片区化工废水极具这显著特点:
高浓硫酸质量浓度氟化物,一般基晶圆锯开后的清洁多种工序,氟化合物浓硫酸质量浓度高达模型150-200mg/L
有微米级硅粉颗粒物,粒级多在100-500nm相互
无机功率较高,COD在500-800mg/L
富含轻微血本属如铅、镉等
电阻率高,平常在2000-3000μS/cm
清理加工程序
为达成零进行排放任务,工艺设备设计的侧重于考虑的工业废水总类收集利用和信息收集:
生活污水总类采集而来设计
:将含氟焦化电镀废水与另一个焦化电镀废水分手回收
有机化学悠长岁月中除氟
:选用多级钙盐析出法,配合默契高效益析出池
层级阳极氧化净化处理
:O3崔化防氧化可降解难操作有机酸物
膜精提机系统
:用于DTRO碟管式反渗入,浸提因数为10倍
蒸发器析出
:MVR机戒蒸汽加热再减少多效冷却器治理 浓水
干涩系统化
:将结晶体盐晾干后有所作为产业副食品外售
净化处理视觉效果
软件正常运作数据分析展示:
氟化物快速清理率>99.9%,冒水氟化合物<1mg/L
COD总弄掉率>98%,有水出COD<20mg/L
水网络资源回收并率>95%,仅导致多量成果盐
每月可再利用高品行循环水约16万吨
晶体盐溶解度高达轻工业级标准规定,做到影视循环经济通过
顶目并不是控制了焦化废水零释放,还凭借资源共享出售创造出了约8070万/年的木制托盘投资收益。