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半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例

品牌底色 该行业为全.球当先的光电器件公测行业,座落珠角形地域,一般去品质集成电路芯片的划区和装封测验。主要是因为本地的环保规范严格执行,行业打算制定一个废液无废气排放标准工程工程项目。工程项目于2030年再启动,202三年6月开工建设动工,正确处理大规模为200吨/日,总股权投资约2000千元。 化工废水材料及原因 该类意义片区化工废水极具这显著特点: 高浓硫酸质量浓度氟化物,一般基晶圆锯开后的清洁多种工序,氟化合物浓硫酸质量浓度高达模型150-200mg/L 有微米级硅粉颗粒物,粒级多在100-500nm相互 无机功率较高,COD在500-800mg/L 富含轻微血本属如铅、镉等 电阻率高,平常在2000-3000μS/cm 清理加工程序 为达成零进行排放任务,工艺设备设计的侧重于考虑的工业废水总类收集利用和信息收集: 生活污水总类采集而来设计 :将含氟焦化电镀废水与另一个焦化电镀废水分手回收 有机化学悠长岁月中除氟 :选用多级钙盐析出法,配合默契高效益析出池 层级阳极氧化净化处理 :O3崔化防氧化可降解难操作有机酸物 膜精提机系统 :用于DTRO碟管式反渗入,浸提因数为10倍 蒸发器析出 :MVR机戒蒸汽加热再减少多效冷却器治理 浓水 干涩系统化 :将结晶体盐晾干后有所作为产业副食品外售 净化处理视觉效果 软件正常运作数据分析展示: 氟化物快速清理率>99.9%,冒水氟化合物<1mg/L COD总弄掉率>98%,有水出COD<20mg/L 水网络资源回收并率>95%,仅导致多量成果盐 每月可再利用高品行循环水约16万吨 晶体盐溶解度高达轻工业级标准规定,做到影视循环经济通过 顶目并不是控制了焦化废水零释放,还凭借资源共享出售创造出了约8070万/年的木制托盘投资收益。

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